Горизонтный печь для нанесения покрытий методом химического осаждения из газовой фазы (SiC)

Описание
Горизонтальная трубчатая печь CVD (карбид кремния) использует метилтрихлорсилан (МТС) в качестве источника газа для нанесения антиоксидантного покрытия на поверхность материала и изменения свойств матричного материала.

Технические особенности
1. Высококоррозионные отходящие газы, горючие и взрывоопасные газы, твердые пыли и продукты с низкой температурой плавления могут быть эффективно обработаны в процессе осаждения.
2. Горизонтальная печь химического осаждения из паровой фазы использует специально разработанную камеру осаждения, что обеспечивает хороший герметический эффект и высокую антизагрязнительную способность.
3. Применяется наиболее передовая технология управления для точного контроля расхода и давления МТС, что обеспечивает стабильный поток осаждения и узкий диапазон колебаний давления.
4. Новая антикоррозионная вакуумная установка обеспечивает длительный непрерывный период работы и низкий уровень обслуживания.
5. Множественные каналы осаждения обеспечивают равномерность поля потока, отсутствие мертвых зон осаждения и лучший эффект осаждения.
6. Размер рабочей зоны печи может достигать 2,5 м × 2,5 м × 5 м, что позволяет проводить CVD-обработку сверхразмерных деталей.

Опциональная конфигурация горизонтальной CVD-печи
1. Дверь печи: на петлях/на тележке, ручное затягивание/автоматическое затягивание кольцом-защёлкой
2. Корпус печи: полностью из углеродистой стали/внутренний слой из нержавеющей стали/полностью из нержавеющей стали
3. Тепловая зона печи: мягкий углеродный войлок/мягкий графитовый войлок/твердый композитный войлок/углеродно-углеродный композит (CFC)
4. Нагревательный элемент и муфель: из изостатически прессованного графита/из прессованного высокочистого, высокопрочного и высокоплотного графита/из графита мелкой фракции
5. Система технологических газов: расходомер объёмный/массовый, ручные клапаны/автоматические клапаны, зарубежные бренды/китайские бренды
6. Вакуумный насос и манометр: зарубежные бренды/китайские бренды
7. Человеко-машинный интерфейс (HMI): симуляционный экран/сенсорный экран/индустриальный персональный компьютер
8. Программируемый логический контроллер (PLC): OMRON/Siemens
9. Температурный регулятор: SHIMADEN/EUROTHERM
10. Термопара: тип C, тип S, тип K, тип N
11. Регистратор: Бесбумажный регистратор/Регистратор на бумаге, Иностранный бренд/Китайский бренд
12. Электрические компоненты: CHINT/Schneider/Siemens
13. Грузовичок: роликовый тип /Вилочный тип/Сложной тип для дальних поездок

Технические характеристики Горизонтной трубчатой печи CVD